1. Définition du système de gaz en vrac :
Stockage et contrôle de la pression des gaz inertes Types de gaz : Gaz inertes typiques (azote, argon, air comprimé, etc.)
Taille du pipeline : de 1/4 (pipeline de surveillance) à un pipeline principal de 12 pouces
Les principaux produits du système sont : vanne à membrane/vanne à soufflet/vanne à bille, connecteur de haute pureté (magnétoscope, forme de soudage), connecteur à virole, vanne de régulation de pression, manomètre, etc.
Actuellement, le nouveau système comprend également un système de gaz spécial en vrac, qui utilise des bouteilles de gaz fixes ou des camions-citernes pour le stockage et le transport.
2. Définition du système de purification :
Élimination des impuretés des gaz en vrac pour les gazoducs de haute pureté
3. Définition des armoires à gaz :
Assurer le contrôle de la pression et la surveillance du débit pour les sources de gaz spéciales (gaz toxiques, inflammables, réactifs et corrosifs) et avoir la capacité de remplacer les bouteilles de gaz.
Localisation : Situé au sous-étage ou au rez-de-chaussée pour le stockage des gaz spéciaux Source : NF3, SF6, WF6, etc.
Taille du pipeline : gazoduc interne, généralement 1/4 de pouce pour le pipeline de traitement, 1/4-3/8 pouce principalement pour le pipeline de purge d'azote de haute pureté.
Principaux produits : vannes à membrane de haute pureté, clapets anti-retour, manomètres, manomètres, connecteurs de haute pureté (magnétoscope, forme de soudage). Ces armoires à gaz contiennent essentiellement des capacités de commutation automatique pour les bouteilles afin d'assurer une alimentation continue en gaz et un remplacement sûr des bouteilles.
4. Définition de la distribution :
Raccordement de la source de gaz au serpentin de collecte de gaz
Taille de la conduite : Dans l’usine de copeaux, la taille du pipeline de distribution de gaz en vrac varie généralement de 1/2 pouce à 2 pouces.
Forme de connexion : Les gazoducs spéciaux sont généralement connectés par soudage, sans aucune connexion mécanique ni autre pièce mobile, principalement parce que la connexion par soudage a une forte fiabilité d'étanchéité.
Dans une usine de copeaux, il y a des centaines de kilomètres de tubes connectés pour transmettre le gaz, qui mesurent environ 20 pieds de long et sont soudés ensemble. Certains coudes de tubes et connexions tubulaires soudées sont également très courants.
5. Définition du boîtier de vannes multifonctions (Valve Manifold Box, VMB) :
Il s'agit de distribuer des gaz spéciaux depuis la source de gaz vers différentes extrémités d'équipement.
Taille du pipeline interne : pipeline de traitement de 1/4 de pouce et pipeline de purge de 1/4 à 3/8 de pouce. Le système peut utiliser une commande par ordinateur pour nécessiter des vannes actionnées ou des situations à moindre coût avec des vannes manuelles.
Produits du système : vannes à membrane/vannes à soufflet de haute pureté, clapets anti-retour, joints de haute pureté (VCR, forme micro-soudée), vannes de régulation de pression, manomètres et manomètres, etc. Pour la distribution de certains gaz inertes, le panneau collecteur de vannes - VMP (disque de vanne multifonction) est principalement utilisé, qui a une surface de disque de gaz ouverte et ne nécessite pas de conception d'espace fermé ni de purge d'azote supplémentaire.
6. Plaque/boîte de vanne secondaire (panneau de raccordement des outils) Définition :
Connectez le gaz requis par l'équipement semi-conducteur de la source de gaz à l'extrémité de l'équipement et assurez la régulation de pression correspondante. Ce panneau est un système de contrôle du gaz plus proche de l'extrémité de l'équipement que le VMB (boîtier à vannes multifonctions).
Taille du gazoduc : 1/4 - 3/8 pouces
Taille du pipeline de liquide : 1/2 - 1 pouce
Taille du pipeline de décharge : 1/2 - 1 pouce
Principaux produits : vanne à membrane/vanne à soufflet, vanne unidirectionnelle, vanne de régulation de pression, manomètre, manomètre, joint de haute pureté (magnétoscope, micro-soudage), joint de virole, robinet à tournant sphérique, tuyau, etc.
Heure de publication : 22 novembre 2024