1. Définition du système de gaz en vrac :
Stockage et contrôle de la pression des gaz inertes Types de gaz : Gaz inertes typiques (azote, argon, air comprimé, etc.)
Taille du pipeline : de 1/4 (pipeline de surveillance) à 12 pouces de pipeline principal
Les principaux produits du système sont : vanne à membrane/vanne à soufflet/vanne à boisseau sphérique, connecteur haute pureté (VCR, forme de soudage), connecteur à virole, vanne de régulation de pression, manomètre, etc.
Actuellement, le nouveau système comprend également un système de gaz spécial en vrac, qui utilise des bouteilles de gaz fixes ou des camions-citernes pour le stockage et le transport.
2. Définition du système de purification :
Élimination des impuretés des gaz en vrac pour les gazoducs de haute pureté
3. Définition des armoires à gaz :
Assurer le contrôle de la pression et la surveillance du débit pour les sources de gaz spéciales (gaz toxiques, inflammables, réactifs, corrosifs) et avoir la capacité de remplacer les bouteilles de gaz.
Localisation : Situé au sous-sol ou au rez-de-chaussée pour le stockage de gaz spéciaux Source : NF3, SF6, WF6, etc.
Taille du pipeline : pipeline de gaz interne, généralement 1/4 pouce pour le pipeline de traitement, 1/4-3/8 pouce principalement pour le pipeline de purge d'azote de haute pureté.
Principaux produits : Vannes à membrane de haute pureté, clapets anti-retour, manomètres, connecteurs de haute pureté (VCR, forme de soudage) Ces armoires à gaz contiennent essentiellement des capacités de commutation automatique pour les bouteilles afin de garantir une alimentation en gaz continue et un remplacement sûr des bouteilles.
4. Définition de la distribution :
Raccordement de la source de gaz au serpentin de collecte de gaz
Taille de la ligne : Dans l'usine de puces, la taille de la canalisation de distribution de gaz en vrac varie généralement de 1/2 pouce à 2 pouces.
Forme de connexion : Les conduites de gaz spéciales sont généralement connectées par soudage, sans aucune connexion mécanique ni autres pièces mobiles, principalement parce que la connexion par soudage présente une forte fiabilité d'étanchéité.
Dans une usine de puces électroniques, des centaines de kilomètres de tubes, longs d'environ 6 mètres et soudés, sont reliés au gaz pour le transport. Les coudes et les soudures tubulaires sont également très courants.
5. Boîte à vannes multifonctions (Valve Manifold Box, VMB) Définition :
Il s'agit de distribuer des gaz spéciaux de la source de gaz vers différentes extrémités d'équipement.
Dimensions internes de la conduite : conduite de traitement de 6,35 mm et conduite de purge de 6,35 à 9,5 mm. Le système peut être piloté par ordinateur pour nécessiter des vannes actionnées ou, dans des situations plus économiques, des vannes manuelles.
Produits du système : vannes à membrane/vannes à soufflet de haute pureté, clapets anti-retour, joints de haute pureté (VCR, forme de micro-soudure), vannes de régulation de pression, manomètres et manomètres, etc. Pour la distribution de certains gaz inertes, le panneau de collecteur de vannes - VMP (disque de vanne multifonction) est principalement utilisé, qui a une surface de disque de gaz ouverte et ne nécessite pas de conception d'espace fermé ni de purge d'azote supplémentaire.
6. Plaque/boîte de soupape secondaire (panneau de raccordement d'outils) Définition :
Raccordez le gaz nécessaire à l'équipement semi-conducteur de la source de gaz à l'extrémité de l'équipement et assurez la régulation de pression correspondante. Ce panneau est un système de contrôle du gaz plus proche de l'extrémité de l'équipement que le boîtier de vannes multifonctions (VMB).
Taille du gazoduc : 1/4 - 3/8 pouce
Taille de la canalisation de liquide : 1/2 - 1 pouce
Taille de la canalisation de refoulement : 1/2 - 1 pouce
Principaux produits : vanne à membrane/vanne à soufflet, vanne unidirectionnelle, vanne de régulation de pression, manomètre, manomètre, joint haute pureté (VCR, micro-soudure), joint de virole, vanne à boisseau sphérique, tuyau, etc.
Date de publication : 22 novembre 2024