1. Définition d'un système de gaz en vrac :
Stockage et régulation de la pression des gaz inertes Types de gaz : Gaz inertes typiques (azote, argon, air comprimé, etc.)
Diamètre des canalisations : de 1/4 (canalisation de surveillance) à 12 pouces (canalisation principale).
Les principaux produits du système sont : vanne à membrane/vanne à soufflet/vanne à bille, connecteur haute pureté (VCR, à souder), connecteur à virole, vanne de régulation de pression, manomètre, etc.
Actuellement, le nouveau système comprend également un système de gaz spécial en vrac, qui utilise des bouteilles de gaz fixes ou des camions-citernes pour le stockage et le transport.
2. Définition du système de purification :
Élimination des impuretés des gaz en vrac pour les gazoducs de haute pureté
3. Définition des armoires à gaz :
Assurer le contrôle de la pression et la surveillance du débit pour les sources de gaz spéciales (gaz toxiques, inflammables, réactifs, corrosifs) et avoir la capacité de remplacer les bouteilles de gaz.
Emplacement : Situé à l'étage inférieur ou au sous-sol pour le stockage de gaz spéciaux Source : NF3, SF6, WF6, etc.
Dimensionnement de la canalisation : Canalisation de gaz interne, généralement 1/4 de pouce pour les canalisations de traitement, 1/4 à 3/8 de pouce principalement pour les canalisations de purge à l’azote de haute pureté.
Principaux produits : vannes à membrane haute pureté, clapets anti-retour, manomètres, connecteurs haute pureté (VCR, soudage). Ces armoires à gaz contiennent essentiellement des capacités de commutation automatique pour les bouteilles afin d’assurer un approvisionnement continu en gaz et un remplacement sûr des bouteilles.
4. Définition de la distribution :
Raccordement de la source de gaz à la bobine de collecte de gaz
Dimension de la conduite : Dans une usine de semi-conducteurs, la taille de la conduite de distribution de gaz en vrac varie généralement de 1/2 pouce à 2 pouces.
Mode de raccordement : Les gazoducs spéciaux sont généralement raccordés par soudage, sans aucun raccordement mécanique ni autre pièce mobile, principalement en raison de la grande fiabilité d’étanchéité du raccordement soudé.
Dans une usine de semi-conducteurs, des centaines de kilomètres de tubes, d'une longueur d'environ six mètres et soudés entre eux, servent au transport du gaz. On y trouve fréquemment des coudes et des raccords soudés.
5. Boîtier de vannes multifonction (Boîtier collecteur de vannes, VMB) Définition :
Il s'agit de distribuer des gaz spéciaux depuis la source de gaz jusqu'aux différents équipements.
Diamètre des canalisations internes : canalisation de process de 6,35 mm (1/4 pouce) et canalisation de purge de 6,35 mm à 9,52 mm (1/4 à 3/8 pouce). Le système peut être commandé par ordinateur (vannes motorisées) ou, pour des solutions plus économiques, par des vannes manuelles.
Produits du système : vannes à membrane/à soufflet de haute pureté, clapets anti-retour, joints de haute pureté (VCR, micro-soudure), vannes de régulation de pression, manomètres, etc. Pour la distribution de certains gaz inertes, on utilise principalement le panneau collecteur de vannes (VMP), qui possède une surface de disque à gaz ouverte et ne nécessite ni conception en espace clos ni purge d’azote supplémentaire.
6. Plaque/boîte de soupape secondaire (panneau de raccordement d'outils) Définition :
Raccordez le gaz nécessaire au fonctionnement de l'équipement semi-conducteur depuis la source de gaz jusqu'à l'équipement et assurez la régulation de pression correspondante. Ce panneau constitue un système de contrôle de gaz plus proche de l'équipement que le boîtier de vannes multifonctions (VMB).
Diamètre du tuyau de gaz : 1/4 à 3/8 pouce
Diamètre de la conduite de liquide : 1/2 à 1 pouce
Diamètre du tuyau d'évacuation : 1/2 à 1 pouce
Principaux produits : vanne à membrane/vanne à soufflet, clapet anti-retour, vanne de régulation de pression, manomètre, joint haute pureté (VCR, micro-soudure), joint à virole, vanne à bille, tuyau, etc.
Date de publication : 22 novembre 2024