As semi-conducteurAvec l'évolution des technologies microélectroniques vers des performances et une intégration accrues, les exigences en matière de pureté des gaz spéciaux électroniques sont plus strictes. La technologie des canalisations de gaz haute pureté est un élément essentiel du système d'approvisionnement en gaz haute pureté. Elle est essentielle pour acheminer des gaz haute pureté conformes aux exigences jusqu'aux points d'utilisation, tout en maintenant une qualité optimale.
La technologie de tuyauterie de haute pureté comprend la conception correcte du système, la sélection des raccords de tuyauterie et des matériaux auxiliaires, la construction, l'installation et les tests.
01Concept général de tuyauterie de transport de gaz
Tous les gaz de haute pureté et de haute pureté doivent être transportés jusqu'au point de distribution par pipeline. Afin de répondre aux exigences de qualité du procédé gazier, lorsque l'indice d'exportation est certain, il est essentiel de prêter attention au choix des matériaux et à la qualité de construction du système de tuyauterie. Outre la précision des équipements de production ou de purification du gaz, celle-ci est largement influencée par de nombreux facteurs du système de tuyauterie. Par conséquent, le choix des tuyaux doit respecter les principes de l'industrie de la purification et indiquer le matériau des tuyaux sur les plans.
02L'importance des pipelines de haute pureté dans le transport du gaz
L'importance des pipelines de haute pureté dans le transport de gaz de haute pureté. Lors de la fusion de l'acier inoxydable, chaque tonne peut absorber environ 200 g de gaz. Après le traitement de l'acier inoxydable, non seulement divers polluants se fixent à sa surface, mais une certaine quantité de gaz est également absorbée par son réseau métallique. Lorsqu'un flux d'air traverse le pipeline, la partie du gaz absorbée par le métal y retourne et pollue le gaz pur.
Lorsque le flux d'air dans le tuyau est discontinu, celui-ci forme une adsorption de pression sur le gaz qui le traverse. Lorsque le flux d'air cesse, le gaz adsorbé par le tuyau forme une analyse de réduction de pression, et le gaz analysé pénètre également dans le gaz pur du tuyau sous forme d'impureté.
Parallèlement, le cycle d'adsorption et d'analyse entraîne la formation d'une certaine quantité de poussière métallique à la surface interne du tube. Cette poussière pollue également le gaz pur dans le tube. Cette caractéristique du tube est essentielle. Pour garantir la pureté du gaz transporté, il est nécessaire que la surface interne du tube soit non seulement extrêmement lisse, mais aussi très résistante à l'usure.
Lorsque le gaz présente de fortes propriétés corrosives, il est impératif d'utiliser des tubes en acier inoxydable résistant à la corrosion. Dans le cas contraire, des points de corrosion apparaîtront à la surface intérieure du tube. Dans les cas les plus graves, de gros morceaux de métal se détacheront, voire se perforeront, contaminant ainsi le gaz pur transporté.
03Matériau du tuyau
Le choix du matériau du tuyau doit être adapté aux besoins de l'utilisateur. La qualité d'un tuyau se mesure généralement à la rugosité de sa surface intérieure. Plus la rugosité est faible, moins il est susceptible de transporter des particules. On distingue généralement trois types de tuyaux :
L'un estTuyau de qualité EP 316L, poli électrolytiquement (électropolissage). Il est résistant à la corrosion et présente une faible rugosité de surface. La Rmax (hauteur maximale du pic au creux) est d'environ 0,3 μm ou moins. Il présente une planéité optimale et ne permet pas la formation de micro-courants de Foucault. Éliminer les particules contaminées. Le gaz de réaction utilisé dans le procédé doit être acheminé à ce niveau.
L'un est unNiveau BA 316LLe tube, traité par recuit brillant, est souvent utilisé pour les gaz en contact avec la puce mais ne participant pas à la réaction du procédé, comme le GN2 et le CDA. Le tube AP (recuit et prélèvement), quant à lui, ne subit pas de traitement spécifique et est généralement utilisé pour les doubles jeux de tubes extérieurs qui ne servent pas à l'alimentation en gaz.
04 Construction de pipelines
Le traitement de l'embouchure des conduites est l'un des points clés de cette technologie de construction. La découpe et la préfabrication des conduites sont réalisées dans un environnement propre, garantissant l'absence de traces ou de dommages à la surface de la conduite avant la découpe. Le rinçage à l'azote de la conduite doit être effectué avant l'ouverture. En principe, le soudage est utilisé pour raccorder les conduites de transport et de distribution de gaz de haute pureté et de haute propreté à grand débit, mais le soudage direct est interdit. Des joints de gaine doivent être utilisés et le matériau de la conduite doit conserver sa structure pendant le soudage. Si un matériau à teneur en carbone trop élevée est soudé, la perméabilité à l'air de la pièce soudée entraînera une infiltration mutuelle des gaz à l'intérieur et à l'extérieur de la conduite, altérant la pureté, la sécheresse et la propreté du gaz transporté, ce qui entraînera de graves conséquences et affectera la qualité de la production.
En résumé, pour les pipelines de transport de gaz de haute pureté et de gaz spéciaux, un tuyau en acier inoxydable de haute pureté spécialement traité doit être utilisé, ce qui fait que le système de pipeline de haute pureté (y compris les pipelines, les raccords de tuyauterie, les vannes, VMB, VMP) occupe une mission vitale dans la distribution de gaz de haute pureté.
Date de publication : 26 novembre 2024