As semi-conducteuret les technologies microélectroniques évoluent vers des performances et une intégration plus élevées, des exigences plus élevées sont imposées à la pureté des gaz spéciaux électroniques. La technologie des conduites de gaz de haute pureté constitue un élément important du système d’approvisionnement en gaz de haute pureté. Il s'agit de la technologie clé pour fournir des gaz de haute pureté qui répondent aux exigences des points d'utilisation du gaz tout en conservant une qualité qualifiée.
La technologie de tuyauterie de haute pureté comprend la conception correcte du système, la sélection des raccords de tuyauterie et des matériaux auxiliaires, la construction, l'installation et les tests.
01Concept général des canalisations de transport de gaz
Tous les gaz de haute pureté et de haute propreté doivent être transportés jusqu’au point terminal de gaz par des gazoducs. Afin de répondre aux exigences de qualité du processus pour le gaz, lorsque l'indice d'exportation de gaz est certain, il est davantage nécessaire de prêter attention au choix des matériaux et à la qualité de construction du système de tuyauterie. Outre la précision des équipements de production ou de purification du gaz, celle-ci est largement affectée par de nombreux facteurs du système de gazoducs. Par conséquent, la sélection des tuyaux doit respecter les principes pertinents de l’industrie de l’épuration et marquer le matériau des tuyaux dans les dessins.
02L'importance des gazoducs de haute pureté dans le transport du gaz
L'importance des pipelines de haute pureté dans le transport de gaz de haute pureté Au cours du processus de fusion de l'acier inoxydable, chaque tonne peut absorber environ 200 g de gaz. Une fois l’acier inoxydable traité, non seulement divers polluants restent collés à sa surface, mais également une certaine quantité de gaz est absorbée dans son réseau métallique. Lorsqu'un flux d'air traverse le pipeline, la partie du gaz absorbée par le métal rentrera dans le flux d'air et polluera le gaz pur.
Lorsque le flux d'air dans le tuyau est discontinu, le tuyau forme une adsorption de pression sur le gaz qui le traverse. Lorsque le flux d'air cesse de passer, le gaz adsorbé par le tuyau forme une analyse de réduction de pression et le gaz analysé pénètre également dans le gaz pur du tuyau en tant qu'impureté.
Dans le même temps, le cycle d'adsorption et d'analyse amènera le métal sur la surface intérieure du tuyau à produire une certaine quantité de poudre. Cette particule de poussière métallique pollue également le gaz pur présent dans la canalisation. Cette caractéristique du tuyau est très importante. Afin de garantir la pureté du gaz transporté, il est non seulement nécessaire que la surface intérieure du tuyau soit extrêmement lisse, mais également qu'elle présente une résistance élevée à l'usure.
Lorsque le gaz présente de fortes propriétés corrosives, des tuyaux en acier inoxydable résistant à la corrosion doivent être utilisés pour la tuyauterie. Sinon, des taches de corrosion apparaîtront sur la surface intérieure du tuyau en raison de la corrosion. Dans les cas graves, de gros morceaux de métal se décolleront ou même se perforeront, contaminant ainsi le gaz pur transporté.
03Matériau du tuyau
Le choix du matériau du tuyau doit être choisi en fonction des besoins d'utilisation. La qualité du tuyau est généralement mesurée en fonction de la rugosité de la surface intérieure du tuyau. Plus la rugosité est faible, moins il est probable qu'il transporte des particules. Généralement divisé en trois types :
L'un estTuyau 316L de qualité EP, qui a été poli électrolytiquement (Electro-Polish). Il est résistant à la corrosion et présente une faible rugosité de surface. Rmax (hauteur maximale du pic à la vallée) est d'environ 0,3 μm ou moins. Il a la plus grande planéité et il n'est pas facile de former des micro-courants de Foucault. Éliminez les particules contaminées. Le gaz de réaction utilisé dans le processus doit être acheminé à ce niveau.
L'un est unCatégorie BA 316Ltuyau, qui a été traité par Bright Anneal et est souvent utilisé pour les gaz qui sont en contact avec la puce mais ne participent pas à la réaction du processus, comme le GN2 et le CDA. L'un d'entre eux est le tuyau AP (Recuit et Cueillette), qui n'est pas spécialement traité et est généralement utilisé pour des ensembles doubles de tuyaux extérieurs qui ne sont pas utilisés comme conduites d'alimentation en gaz.
04 Construction de pipelines
Le traitement de l'embouchure du tuyau est l'un des points clés de cette technologie de construction. La découpe et la préfabrication du pipeline sont effectuées dans un environnement propre et, en même temps, il est garanti qu'il n'y a pas de marques ou de dommages nocifs sur la surface du pipeline avant la découpe. Les préparatifs pour le rinçage à l'azote dans le pipeline doivent être effectués avant l'ouverture du pipeline. En principe, le soudage est utilisé pour connecter les conduites de transport et de distribution de gaz de haute pureté et de haute propreté à grand débit, mais le soudage direct n'est pas autorisé. Des joints de tubage doivent être utilisés et le matériau du tuyau utilisé ne doit présenter aucun changement de structure pendant le soudage. Si le matériau à teneur en carbone trop élevée est soudé, la perméabilité à l'air de la pièce à souder fera pénétrer le gaz à l'intérieur et à l'extérieur du tuyau, détruisant la pureté, la sécheresse et la propreté du gaz de transport, ce qui entraînera de graves conséquences. et affecter la qualité de la production.
En résumé, pour les gazoducs de haute pureté et les gazoducs spéciaux, un tuyau en acier inoxydable de haute pureté spécialement traité doit être utilisé, ce qui fait que le système de gazoducs de haute pureté (y compris les pipelines, les raccords de tuyauterie, les vannes, le VMB, le VMP) occupe une place importante. mission vitale dans la distribution de gaz de haute pureté.
Heure de publication : 26 novembre 2024